가장 정밀한

TSAM

TRADITIONAL

SCANNING ACOUSTIC MICROSCOPY

최대 200MHz

고해상도 영상 출력

4CH&300MHz

다채널 고대역폭 Pulser Reciver

고속영상처리 소프트웨어

역사상
가장 빠르고 선명한

FSAM

가장 정밀하게

결함 검출 가능한.

H고해상도 영상을 위한
고주파수 초음파 센서

80~200MHz 초음파 센서를 자체 개발하여

고속 초음파 현미경 시스템에 적용합니다.

200MHz

고해상도 영상 출력

LG 디스플레이의 요청으로 자사 제품을 통해 검출 한 내부 결함 검사

LG 디스플레이 OLED 패널 카메라 상단 표면 사진

자사 초음파 현미경 시스템을 이용한 LG 디스플레이 OLED 패널 샘플 결함 검출

의 요청으로 자사 제품을 통해 검출 한 내부 결함 검사 결과

KCC Copper 샘플 표면 사진

KCC Copper 샘플 표면 사진

(SAM) KCC Copper 샘플 결함 검출

(SAM) KCC Copper 샘플 결함 검출

4CH & 300MHz

다채널 고대역폭 지원

다채널 고대역폭 초음파 Pulser & Receiver를 자체 개발하여

고속 초음파 현미경 시스템에 적용합니다.

자체 개발한 FSAM 소프트웨어

실시간 초음파 2D, 3D 영상 출력 및

결함 위치(XYZ 좌표)와 크기를


기반으로 한 결함 측정 보고서 생성 등


고객의 니즈에 따라 customizing 가능.

고속 영상 처리를 위한

소프트웨어 최적화

신속한 결함 검출을 위해 GPU CUDA를 이용한검사 알고리즘 구축

3 axes scanning module

  • Scan Envelope ( X-axis)

    400mm

  • Step axis (Y axis)

    400mm

  • Focus axis (Z axis)

    150mm

Motion specifications

  • Resolution

    1 µm

  • Accuracy

    ±0.01mm/100mm

  • Repeatability

    ±5 µm

Dimensions

  • Width

    1200mm

  • Depth

    1100mm

  • Height

    2300mm

Water supply system

  • Volume of water tank

    331

  • Water tank up and down movement distance

    106 mm

  • Volume of water container

    581

  • Water pump

    3000/h

Number of transducer

  • Channels

    2

Fast Scanning Module (in the X direction)

  • Scan Envelope ( X-axis)

    100

  • Fast travel ( X-axis )

    26mm ( x 4 transducers )

  • Max. Frame Rate/ Step size

    24 Fps/ 40, 60, 80, 100 µm

  • Max. Velocity/Trigger Freq.

    1 m.s­­-¹ / 25, 17, 13, 10kHz

Motion specifications

  • Step Axis ( X-axis )

    400mm

  • Focus Axis ( Z-axis )

    50mm

  • Resolution

    1 µm

  • Accuracy

    ±0.01mm/100mm

  • Repeatability

    ±0.02mm

Dimensions

  • Width

    1200mm

  • Depth

    1100mm

  • Height

    2300mm

Transducers

  • Center Frequency

    25MHz ( x 4 )

  • Element Diameter

    6mm

  • Focal Length

    13 mm

  • Lateral Resolution

    111 µm

  • Focal Length

    79 µm