USI RSAM 300
완전 자동화로 품질과 효율을 동시에 높이다.
주요 특징
정밀함과 속도를 동시에 구현하는 차세대 초음파 비파괴 검사 장비
USI RSAM 300은 웨이퍼 검사용으로 특별히 설계된 완전 자동화 SAM 시스템입니다.
전 과정 자동화
카세트 로딩부터 에어나이프
건조까지 자동 제어
3분 내 검사 완료
12인치 웨이퍼 기준 빠른
검사 속도
고해상도 초음파 스캐닝
μm 단위의 미세 결함까지
선명하게 탐지
AI 기반 분석
대량 검사 시 정확도 향상 및
효율적 데이터 관리
스캐닝 이미지 결과
기술 사양
| 기술 사양 | |
|---|---|
| 항목 | USI RSAM 300 |
| Scanning technique | Real time A, B, C–scan |
| Scanning range | 300 (X) x 300 (Y) mm |
| Scanning velocity | Max. 500 rpm |
| Step size | 10 ~ 200 μm |
| Transducer |
Frequency: 50 ~ 200 MHz Focal length: 3 ~ 12 mm |
| Number of channels | 1 |
| Digitizer | PCIe 16bits 1GSPS |
| DI water |
Temperature: 20 ~ 30 ℃ Pressure: 0.1 ~ 0.2 MPa Flow: 4 ~ 6 L/min |
| Air Supply | CDA 0.5 ~ 0.7 MPa Peak 500 L/min @ 0.6 MPa |
| Operating Environment |
Temperature: 15 ~ 30 ℃ Humidity < 85 % (non-condensing) |
| Power | 200 ~ 240 VAC, 60 Hz, 50 A, Three Phase |
| Size | 1,390 (W) x 2,390 (D) x 2,000 (H) mm |
| Weight | 2,410 kg |
※ 모든 사양은 커스터마이징 가능합니다.